太阳电池用氧化锌薄膜的蒸发氧化制备及其光电特性

摘要：

本文采用真空蒸发镀膜的方法分别在玻璃和硅片衬底上沉积金属锌前驱体，再在空气中通过不同温度的退火氧化处理制得氧化锌薄膜，主要研究了不同退火温度对氧化锌薄膜光电特性的影响。实验表明，在一定退火温度样品的方块电阻突增，PL 发射峰出现红移，文中并对结果进行了初步讨论。

关键词： 氧化锌薄膜 蒸发镀膜 退火 光致发光 太阳电池 真空蒸发镀膜

作者: 邵乐喜 陈小敏

作者单位: 湛江师范学院信息科技学院,湛江524048

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）