椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率

摘要：

本文通过对椭偏仪测量原理的分析给出了四区平均消光状态下的计算公式，利用该公式计算在一个周期内的薄膜厚度和折射率结果较好；同时给出了膜厚大于一个周期时的计算方法。

关键词： 椭圆偏振测量 薄膜厚度 折射率

作者: 马逊 刘祖明 陈庭金 廖华

作者单位: 云南师范大学太阳能研究所,云南省农村能源工程重点试验室,昆明,650092

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）