离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术

摘要：

本文利用光谱测量与数据拟合的方法，能够快速简便地测定出被刻蚀的光学薄膜材料的物理厚度，从而标定离子束刻蚀的速率。

关键词： 光学薄膜 离子束刻蚀 速率定标 数据拟合

作者: 林炳 刘定权 张凤山

作者单位: 上海技术物理研究所第八研究室,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）