新型减反膜的设计与制备

摘要：

本文根据近年来实际应用中对减反膜的新的需求和指标要求，利用光学薄膜设计软件进行模拟和理论分析，采用常规的薄膜工艺和设备进行大量实验，设计并制备出三种新型的减反膜：含金属膜的减反膜（包括窄带金属减反膜，宽带金属减反膜，减反防静电抗电磁辐射膜），超低反射率减反膜和大角度减反膜，满足了实际器件的应用要求。

关键词： 减反膜 薄膜工艺 超低反射率

作者: 李芳 林永昌

作者单位: 中国科学院半导体研究所集成光学国家重点实验室,100083 北京理工大学光电工程系,100081

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）