软X射线偏振光学元件的设计与制备

摘要：

本文叙述了软X 射线波段反射式多层膜起偏器和检偏器的设计原则和设计方法，优化计算了5.9nm 波长处多层膜光学元件的偏振性能，阐述了其制备的过程，利用小角度衍射法对多层膜的厚度进行了测量，并对同步辐射测量的反射率结果进行了拟合分析。

关键词： 软X射线偏振 多层膜光学元件 起偏器 检偏器 设计方法 偏振性能

作者: 王洪昌 王占山 吴文娟 王凤丽 张众 秦树基 陈玲燕

作者单位: 同济大学精密光学技术研究所物理系,上海200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会2004年学术大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）