线性共蒸法制备渐变折射率薄膜的误差特性模拟分析

摘要：

渐变折射率薄膜，又称为非均匀薄膜。利用计算机辅助模拟，讨论了随机误差对双源线性共蒸法制备的多周期分布非均匀薄膜光学特性的影响，模拟分析发现：混合介质膜折射率变化规律产生误差后，其透射光谱将向短波方向漂移，应用范围也将发生变化，与德鲁德变化规律比较，当其对应折射率大于德鲁德变化规律的折射率时，其应用光谱范围变窄，当其对应折射率小于德鲁德变化规律的折射率时，其应用光谱范围变宽；当存在膜层厚度误差或折射率极值误差时，可应用的波段范围光学透射性能变差，直至破坏薄膜的光学性能。

关键词： 渐变折射率 光学薄膜 共蒸法

作者: 沈自才 范正修 邵建达 王英剑

作者单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,1000391 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光子学大会

会议地点: 黄山

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）