一种计量型二维精密工作台的研究

摘要：

研究了一种以计量光栅作为计量标准器的二维精密工作台,以实现表面轮廓测量中的X-Y方向的精确定位.重点介绍了光栅信号处理的硬件及软件细分技术,及工作台闭环控制系统的流程,分析了影响工作台定位精度和速度的因素.系统实现了高速度、高精度和大行程测量的要求.

关键词： 二维位移工作台 计量光栅 表面轮廓测量 光栅信号处理 定位控制 测量误差

作者: 廖艳春 谢铁邦

作者单位: 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年十三省区市机械工程学会学术年会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）