接触与非接触两用表面轮廓综合测量仪

摘要：

介绍了一种新型两用表面轮廓综合测量仪的设计原理、仪器结构及测试结果.该系统可采用接触式与非接触式两种测量方式,与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比,它的性能价格比更高,应用范围更广.该测量系统已投入实用,接触法测量范围达h3mm,最小分辨率为0.005μm;非接触法测量范围达h500μm,最小分辨率为0.01μm。

关键词： 表面轮廓测量仪 聚焦探测法 激光干涉法 非接触法测量 接触法测量

作者: 汪洁 谢铁邦

作者单位: 华中科技大学机械科学与工程学院,湖北武汉430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年十三省区市机械工程学会学术年会

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

在线出版日期: 2005-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）