ESD对2SC3356造成的积累效应研究

摘要：

本文研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件2SC3356造成的潜在性失效.采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356从CB结施加了一系列低电压的ESD应力,结果表明:低于损伤阈值的ESD应力可以在2SC3356中引入潜在性失效,并且连续的ESD对其有积累效应;并且低于损伤阈值的ESD应力,达到一定的电压水平和一定的次数后,2SC3356会失效.

关键词： ESD 微电子器件 潜在性失效

作者: 祁树锋 刘尚合 杨洁 巨楷如

作者单位: 军械工程学院静电与电磁防护研究所,石家庄,050003

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国物理学会第十三届静电学术年会

会议地点: 石家庄

会议语种:中文

页码: 278-281

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）