集成电路电磁脉冲注入损伤规律研究

摘要：

采取直接注入法,进行了方波脉冲和静电放电电磁脉冲对集成电路的注入损伤实验,并对实验结果进行了初步分析.实验表明静电放电与方波脉冲对器件的注入损伤具有相对的一致性.器件类型、敏感端对等对方波脉冲敏感的,同样对于静电电磁脉冲也比较敏感.集成电路工作状态下的电磁脉冲损伤电压阈值高于其分立状态下的损伤电压值.在静电注入电压和平均能量关系分析的基础上,得到了静电电磁脉冲注入时器件的损伤实验模型.

关键词： 集成电路 注入实验 方波 静电放电

作者: 林永涛 谭志良 张荣奇

作者单位: 军械工程学院静电与电磁防护研究所,河北,石家庄,050003

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国物理学会第十三届静电学术年会

会议地点: 石家庄

会议语种:中文

页码: 263-266

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）