提拉法制备耐刮擦SiO2减反膜

摘要：

以正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用碱/酸两步催化法制备出SiO2溶胶,在未钢化的玻璃表面经提拉法制备SiO2薄膜,利用玻璃的钢化过程对薄膜进行热处理.使用场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜、椭偏仪、傅立叶红外光谱、分光光度计等分析了薄膜的特性.实验结果表明经过玻璃的钢化后,薄膜反射率峰值为0.17％,在400-800 nm的波长范围内平均反射率较镀膜前下降了5％以上,同时薄膜具有较好的耐刮擦性能.

关键词： 溶胶-凝胶技术 减反膜 耐刮擦 提拉法

作者: 沈军 谢志勇 欧阳玲 邬镝 罗爱云 王生钊 王晓栋

作者单位: 同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国硅酸盐学会特种玻璃分会第三届全国特种玻璃会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 180-184

在线出版日期: 2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）