HfO2高激光损伤阈值薄膜的制备及特性研究
采用水热合成技术,制备了HfO2胶体,用旋涂法镀制了单层HfO2介质膜.采用XRD,椭偏仪,红外光谱(FTIR)等方法对薄膜进行了测试和表征,用输出波长为1 064 nm,脉宽为10 ns的电光调Q激光系统产生的强激光测试其激光损伤阈值.研究了热处理温度对薄膜厚度、折射率、红外光谱、晶态以及激光损伤阈值的影响,并对薄膜的激光损伤形貌进行了分析.研究结果表明:HfO2薄膜的折射率可达到1.655;采用150 ℃左右的温度对薄膜进行热处理可以提高薄膜的激光损伤阈值,此时薄膜的激光损伤阈值高达42.32 J/cm2(1 064 nm,10 ns),大大高于物理法制备的HfO2薄膜的激光损伤阈值(8.6 J/cm2,1 064 nm,12 ns).
HfO2薄膜 旋涂工艺 热处理 高折射率 激光损伤阈值
沈军 罗爱云 王生钊 欧阳玲 谢志勇 朱玉梅
同济大学波耳固体物理研究所,上海,200092
国内会议
武汉
中文
176-179
2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）