退火温度对ZnO薄膜结构及光学性能影响
以二水醋酸锌为原料,使用溶胶凝胶法在玻璃基体上旋涂氧化锌薄膜.用X射线衍射、室温光致发光、可见分光光度计等方法对薄膜的结构、光学特性进行了研究,同时结合AFM和分光光度计,讨论了不同退火温度对氧化锌薄膜结构,透光率的影响.结果表明:随着退火温度的升高,ZnO薄膜衍射峰增强,其中在500 ℃时,(002)峰最强,即沿C轴的取向性最好,晶粒尺寸依次增大,其中500-550 ℃时,晶粒尺寸比较小且分布均匀,平均粒径40 nm,表面粗糙度最小,小于8 nm;退火温度为550 ℃时,ZnO薄膜的透光率最高,达96%以上.并在380 nm附近有很强的紫外发射峰.
ZnO薄膜 退火温度 粗糙度 透光率
李珍 陈文 李飞 艾常涛 靳福江
武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉,430070;湖北大学铁电压电材料与器件湖北省重点实验室,武汉,430062;中国地质大学材料科学与化学工程学院,武汉,430074 武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉,430070 中国地质大学材料科学与化学工程学院,武汉,430074
国内会议
武汉
中文
110-113
2007-05-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)