EBSD在InGaAsP/InP异质结构弹性应力区域的研究

摘要：

利用扫描电镜附件电子背散射衍射(Electron Backscattering Diffraction, EBSD)技术,用菊池花样质量(IQ)作为应力敏感参数,研究了InGaAsP/InP异质结构缓冲层和外延层界面处的应力分布.

关键词： 电子背散射衍射 弹性应力区域 菊池花样质量 InGaAsP/InP异质结构

作者: 范丽霞 卢卓宇 任峰 蒋昌忠 付强

作者单位: 武汉大学声光材料与器件教育部重点实验室,武汉,430072;武汉大学物理科学与技术学院,武汉,430072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国硅酸盐学会特种玻璃分会第三届全国特种玻璃会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 39-41

在线出版日期: 2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）