用涡流方法检测银薄膜厚度

摘要：

利用涡流传感器和涡流检测仪器,测量了厚度为40～800 nm的银薄膜,得出了厚度与电压关系曲线,据此研制了数字化膜厚测量仪表.结果表明,涡流方法是无损快速测量金属薄膜厚度的有效方法.

关键词： 厚度测量 银薄膜 涡流 无损检测

作者: 李杰 王光鲁 满福全

作者单位: 北京科技大学应用科学学院,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国金属学会第十三届分析测试学术年会——冶金及材料分析测试学术报告会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 366-368

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）