压印溶胶-凝胶材料制备阵列微结构
表面微结构的制备是微光子器件制备过程中一个十分重要的步骤.为了降低工艺复杂性和成本,把软刻技术与溶胶-凝胶材料相结合应用于微光子器件中光路微结构图案的制备.采用软刻工艺,即通过表面带微结构图案的弹性模板压印在玻璃或硅片上溶胶-凝胶来实现微结构图形的转移,研究重复使用PDMS模板来压印出微结构图案.用高倍光学显微镜和扫描电子显微镜(SEM)观察所制备的溶胶-凝胶材料的表面微结构,分析影响压印结果的因素,获得了畸变小的表面微结构,如线阵结构(1维光栅)和点阵结构(2维光栅结构)图案.
表面微结构 溶胶-凝胶 软刻工艺
徐键 王公平 董建峰 徐清波
宁波大学信息科学与工程学院,宁波,315211
国内会议
武汉
中文
278-280
2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）