线阵CCD微小尺寸测量的基本原理与误差分析

摘要：

利用线阵CCD进行一维无接触尺寸测量的应用十分广泛,本文主要针对线阵CCD对微小尺寸测量的特殊应用,建立被测件尺寸经过衍射后与CCD视频输出的函数关系来达到对微小尺寸的高精度测量,同时对该测量方法的误差进行了分析.

关键词： 线阵CCD 微小尺寸测量 误差分析 工作原理

作者: 杨博雄 胡新和 傅辉清 路杰 陈志高 刘海波 欧同庚

作者单位: 中国地震局地震研究所,武汉,430071 湖北咸宁职业技术学院,咸宁,437100

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国十五届十三省光学学会学术大会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 327-332

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）