4.26um CO2分析用红外干涉滤光片的研制

摘要：

介绍了用于分析CO2气体的红外干涉滤光片的研制过程.探讨了膜系设计、监控方案、制备工艺条件等方面内容.并进行了膜层的机械强度及环模可靠性试验.最后给出了研制结果.

关键词： 红外干涉滤光片 膜系设计 膜层可靠性

作者: 黄春 倪榕 张麟

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国十五届十三省光学学会学术大会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 251-254

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）