690nm滤光片的研制
离子辅助镀膜是帮助得到稳定可靠薄膜的有效工艺方法.通过试验表明,在制备滤光片的过程中,离子源参数的不同,直接影响到了制备出的滤光片半宽的改变.因此为了制备性能良好的滤光片产品,必须保证在镀制过程中,离子源功率的稳定.
离子源 滤光片 光学薄膜
李大琪 章卫祖 陈刚 刘定权
中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
国内会议
太原
中文
151-155
2006-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
离子源 滤光片 光学薄膜
李大琪 章卫祖 陈刚 刘定权
中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
国内会议
太原
中文
151-155
2006-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)