690nm滤光片的研制

摘要：

离子辅助镀膜是帮助得到稳定可靠薄膜的有效工艺方法.通过试验表明,在制备滤光片的过程中,离子源参数的不同,直接影响到了制备出的滤光片半宽的改变.因此为了制备性能良好的滤光片产品,必须保证在镀制过程中,离子源功率的稳定.

关键词： 离子源 滤光片 光学薄膜

作者: 李大琪 章卫祖 陈刚 刘定权

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国十五届十三省光学学会学术大会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 151-155

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）