钢板表面纳米级薄膜的定量逐层分析技术比较

摘要：

主要介绍了利用不同的表面分析技术测定钢板表面纳米级氧化膜的比较.辉光放电光谱法的分析速度快,分析结果定量、精密度实验表明测定纳米级膜厚的相对标准偏差可达10％,但无法提供薄膜中元素价态和结构的信息.XPS能够对薄膜中的元素价态和结构进行分析;可以利用XPS变角度法和离子溅射法测定钢板表面纳米级膜厚,但变角度法仅适合于10 nm以下的膜厚测定,而离子溅射法会受到样品表面粗糙度的影响.结果表明,不同的表面分析技术各有优势.将多种表面分析技术结合,分析钢板表面纳米级薄膜,通过膜厚、膜中元素价态和结构的综合分析,将有利于钢板的表面工艺研究.

关键词： 辉光放电光谱法 X光电子能谱法 纳米级薄膜

作者: 张毅 何晓蕾 邬君飞 陈英颖

作者单位: 宝山钢铁股份有限公司研究院,上海,201900

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国金属学会第十三届分析测试学术年会——冶金及材料分析测试学术报告会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 388-394

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）