辉光放电光谱法定量分析金属材料表面纳米级薄膜的研究

摘要：

本文主要介绍了辉光放电光谱法分析金属材料表面的纳米级薄膜.通过优化辉光光源的放电参数,计算标准样品的溅射率.经过溅射率校准后,建立各分析元素分析强度和分析浓度的标准工作曲线,从而形成了纳米级薄膜的定量表面分析方法.铝基复合氧化膜和易锈蚀冷轧板的分析实验证明,本方法对膜厚和元素浓度分布的测定具有良好的准确性,可以应用于多种金属材料表面纳米级厚度膜层的研究.

关键词： 辉光放电光谱法 纳米级薄膜

作者: 张毅 何晓蕾 陈英颖 邬君飞

作者单位: 宝钢研究院,上海,201900 华东理工大学分析测试中心,上海,200237

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国金属学会第十三届分析测试学术年会——冶金及材料分析测试学术报告会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 365-370

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）