La0.7Ca0.3MnO3/YSZ薄膜的掠入射X射线衍射研究

摘要：

本文研究用90.离轴射频磁控溅射方法将La0.7Ca0 3MnO3(LCMO)沉积在(001)取向的钇稳定氧化锆(YSZ)单晶基片上,制取厚度分别为200(A),500(A),1000(A)的薄膜样品.通过掠入射X射线衍射技术测量了LCMO薄膜材料的面内晶格常数,并结合常规X射线衍射研究了这些薄膜样品的晶格应变及其弛豫情况.研究结果表明,薄膜内不同厚度处的应变是不均匀的,薄膜内不同厚度处的面内晶格常数随着与薄膜-基片界面之间距离的增加而减小,表明具有大的晶格失配率的LCMO/YSZ薄膜的应变弛豫可能具有独特的机制.

关键词： 掠入射X射线衍射 应变弛豫 薄膜 晶格

作者: 施春龙 谭伟石 蔡宏灵 吴小山 邓开明 贾全杰

作者单位: 南京理工大学理学院应用物理系,南京,210094 南京大学固体微结构物理国家重点实验室,南京大学物理系,南京,210093 中国科学院高能物理研究所,北京,100039

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 247-250

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）