Mo基体上金刚石薄膜及过渡层的X射线掠入射研究

摘要：

本文研究了用近平行的入射X射线,以掠入射的方式,对在Mo基体上生长的金刚石薄膜及其过渡层的物相进行了分析,建立了一种薄膜及过渡层厚度的测定方法,即基于本文所推导出了过渡层及Mo基体某一晶面的衍射强度与掠入射角的之间的函数关系,计算出薄膜及过渡层的厚度.

关键词： X射线衍射 金刚石薄膜 过渡层 厚度测定

作者: 方建锋 郑毅

作者单位: 钢铁研究总院,北京,100081

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国X-射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心(ICDD)研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 78-83

在线出版日期: 2006-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）