W-Al2O3金属陶瓷复合膜的制备与退火工艺对涂层吸收率影响的研究

摘要：

使用直流、射频磁控溅射方法在经过热处理后的不锈钢(SS)基底上沉积了W-Al2O3多层复合膜.该复合膜从基底以上包括红外反射层、不同金属体积比干涉吸收层和减反射层.通过XRD、SEM、EDX等测试手段,分析了导致涂层吸收率随退火条件的不同而发生变化的主要原因.随着退火温度的逐渐升高,各膜层表面结晶状况明显改善,杂质元素也相应减少,有利于该金属复合涂层吸收率的提高.当退火温度在500℃范围以内时,涂层的光学吸收率随温度升高而增大.

关键词： W-Al2O3金属陶瓷复合膜 磁控溅射 退火工艺 光吸收率 不锈钢基底 复合涂层

作者: 茹宁 周珑 杜心康 王天民 陈步亮 王聪

作者单位: 北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理研究中心,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006北京国际材料周暨中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 391-395

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）