DC Arc Plasma Jet CVD法沉积纳米金刚石自支撑膜的研究

摘要：

在30kW级DC Arc Plasma Jet CVD(直流电弧等离子体喷射化学气相沉积)设备上,采用Ar-H2-CH4混合气体,在Mo的衬底上沉积出纳米金刚石自支撑膜.实验表明,随着甲烷浓度的增加,金刚石膜表面的晶粒大小是逐渐减小的,当甲烷浓度达到12％时,已经有明显的二次形核;当甲烷浓度达到13％时,形核面积进一步增大;当甲烷浓度达到15％以上时,金刚石膜生长面晶粒全部变为纳米级尺寸.通过SEM扫描照片可以看出,生长面呈现为菜花状的小晶团,而侧面已经没有了粗大的柱状晶,而是呈现出光滑的断口;通过激光Raman谱,对纳米自支撑金刚石膜的生长面和侧面进行分析,在1140cm-1附近都有很强的纳米金刚石的散射峰出现.结果表明,采用大功率DC Arc Plasma Jet CVD技术是可以沉积出纳米自支撑金刚石膜的.

关键词： 纳米金刚石自支撑膜 纳米二次晶 直流电弧等离子体喷射 化学气相沉积

作者: 戴风伟 唐伟忠 吕反修 陈广超 兰昊 J.Askari 宋建华 李成明 佟玉梅 李彬 黑立富

作者单位: 北京科技大学材料学院功能材料研究所,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006北京国际材料周暨中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 346-350

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）