大功率DC Arc Plasma Jet CVD制备微/纳米复合金刚石自支撑膜的研究

摘要：

在30kW级DC Arc Plasma Jet CVD装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,在钼衬底上制备出了复合金刚石自支撑膜,并对其表面和侧面分别进行了扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)表征.结果显示,复合结构由普通的多晶微米级金刚石薄膜和纳米金刚石薄膜组成,薄膜的表层结构体现了纳米金刚石的特征.复合金刚石自支撑膜不仅具有光滑的表面,并且微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面,这些特征均大大优于常规多晶微米级金刚石膜.

关键词： 直流电弧等离子喷射 化学气相沉积 自支撑金刚石膜 纳米复合结构

作者: 兰昊 佟玉梅 吕反修 陈广超 戴风伟 李彬 唐伟忠 李成明 宋建华 J.Askari 黑立富

作者单位: 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006北京国际材料周暨中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 342-345

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）