椭圆偏振光谱法对氧化膜厚度的测试

摘要：

测量材料表面氧化膜厚度的方法包括间接法(热重法,通过计算转换为氧化层厚度)和直接法(椭圆偏振光谱法),其中椭圆偏振光谱法国内用的相对较少.本文对椭圆偏振光谱测量技术圆偏振光谱建立模型,并采用这种方法对铀进行研究,测量了其在室温环境,相对湿度为50％～70％条件下的氧化膜厚度变化.结果表明采用椭圆偏振技术对铀的测试结果得到的厚度与时间的关系与国内外报道的文献相似,呈抛物线型。

关键词： 椭圆偏振光谱法 铀 氧化膜厚度 氧化速率 间接法

作者: 林斯勤 吕学超 赖新春 白彬

作者单位: 中国工程物理研究院,四川绵阳,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006北京国际材料周暨中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 332-336

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）