低掺杂对ZnO:Al薄膜性质的影响

摘要：

利用溶胶凝胶法在(0001)蓝宝石衬底上制备了ZnO:Al薄膜,薄膜表面具有交叉链状形貌.随着掺铝浓度的提高,链条有明显变细的趋势.X射线衍射证实,提高掺铝浓度有利于促进薄膜沿(002)方向生长,并且光学带隙随掺杂浓度的提高从3.21eV增大到3.25eV.光致发光光谱显示,薄膜除了在390nm处有较强的紫外发射外,还在500nm处出现了与本征缺陷有关的绿光发射带.随着掺杂浓度提高,紫外峰强度增大,而绿光发射带强度减小.

关键词： ZnO薄膜 Al掺杂 溶胶凝胶法 光致发光 XRD 吸收光谱

作者: 薛书文 刘彦章 祖小涛

作者单位: 电子科技大学应用物理系,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006北京国际材料周暨中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 302-306

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）