多弧离子镀制备TiN/AlN纳米多层膜及其超硬效应

摘要：

本研究采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备TiN/AlN纳米多层膜,并对TiN/AlN纳米多层膜的表面形貌、组织结构进行了分析,对TiN/AlN纳米多层膜的调制机构进行了表征.通过对薄膜显微硬度的测试发现,纳米多层膜的显微硬度明显高于单层薄膜的显微硬度,可见,TiN/AlN纳米多层膜具有明显的超硬效应.

关键词： 多弧离子镀 TiN AlN纳米多层膜 超硬效应

作者: 潘应君 金犁 周青春 吴新杰

作者单位: 武汉科技大学材料与冶金学院,武汉,430081

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006北京国际材料周暨中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 255-258

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）