用于微机电系统磁流体压力微传感器的实验研究

摘要：

由于磁流体具有磁性,在磁场作用下力的平衡发生变化会产生磁流体的流动而产生压力,将这种现象用到微系统中可以获得1-1000 mbar数量级的压力值.在试验装置中,用压阻压力传感器得到了40 mbar的压力.这些试验结果表明结合磁流体和微系统有很大的潜能,为发展新的应用提供研究基础.

关键词： 微机电系统 磁流体 压力传感器

作者: 徐军民 王瑞金 杨娅君

作者单位: 浙江科技学院,机械与汽车工程学院,杭州,310012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届长三角地区传感技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 62-66

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）