小型红外吸收光声传感器对二氧化硫的检测
光声光谱技术作为一种高灵敏度的测量方式,是检测微量气体含量的有效手段之一.在气体光声光谱理论的基础上,研制了小型红外吸收光声传感器系统.该系统主要由光源,吸收腔,光声腔,声探测器,外围电路,数据处理软件组成.采用小型红外吸收光声传感器对SO2气体进行了检测,实验结果表明:该系统的灵敏度很高,探测到浓度为0.38ppm的SO2气体的响应曲线,且线性度较好.通过对小型红外吸收光声气体传感器的研究,为MEMS光声传感器的研究打下坚实基础.
红外吸收光声传感器 二氧化硫 气体检测 灵敏度
姚伟 纪新明 刘全 黄宜平
上海复旦大学微电子系,上海,200433
国内会议
杭州
中文
41-47
2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）