MEMS热式质量流量计在天然气计量中的应用

摘要：

本文主要介绍了燃气行业计量中存在的问题和现状以及对计量仪表的要求,对热式质量流量计的技术性能和应用进行了分析,对热式质量流量计进入燃气计量行业的探索性应用进行了讨论,对采用MEMS技术的流量传感器原理及仪表性能和应用进行了概述.

关键词： 燃气计量 热式质量流量计 流量传感器 MEMS技术 微电子机械系统

作者: 韩怀成 黄琦 金耀青

作者单位: 浙江麦姆龙仪表有限公司,浙江,杭州,310030

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届长三角地区传感技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 110-114

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）