基于MEMS技术的热式质量流量传感器

摘要：

基于微机电系统芯片技术的热式质量流量传感器将微电子、微机械技术功能要求的发热元件、测温/测速元件都集成在全硅的芯片上,产品具有响应速度快、灵敏度高、量程范围宽、功耗低、体积小等特点.该传感器配套的智能电路具有高性能小信号放大处理能力和非线性校正功能,可保障全量程的高精度测量.

关键词： 质量流量传感器 响应速度 灵敏度 微电子技术

作者: 毛巨林 周尉

作者单位: 杭州中矽微电子机械技术有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届长三角地区传感技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 2-5

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）