MEMS技术及其在卫星中的应用
本文首先从概念、内涵、特点、分类四个方面对MEMS技术进行阐述,其次简单介绍了MEMS卫星的相关情况,接着探讨分析了MEMS技术在卫星中的应用与发展,最后指出应用MEMS技术的微小卫星即MEMS卫星是未来发展的必然趋势.
微机电系统 MEMS技术 MEMS卫星 微小卫星
王晓海
中国航天科技集团公司五院五零四研究所,空间微波技术国家级重点实验室,陕西西安,710100
国内会议
厦门
中文
351-357
2006-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)