类金刚石膜

摘要：

类金刚石(DLC)膜是由对应于金刚石结构的sp3杂化轨道键合的碳和对应于石墨结构的sp2杂化轨道键合的碳不规则地互相混合而成的一种非晶薄膜,可大致分为只有碳组成的膜和含氢的膜.本文论述了类金刚石膜的主要特性、应用现状以及今后的展望。

关键词： 类金刚石膜 抗剥离性 非晶薄膜

作者: 田中章浩 蒋修治

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006中国超硬材料发展论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 73-74,89

在线出版日期: 2006-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）