晶体结构对金刚石膜断裂强度的影响

摘要：

本文应用XRD和SEM分析手段,对金刚石膜的晶体结构以及断面和生长面晶粒形貌特征进行了研究分析,探讨了晶体结构对金刚石膜的断裂强度的影响.研究结果表明,晶体取向的多样化对金刚石膜断裂强度有利;粗糙表面的晶粒间易产生V形口,导致应力集中,降低了膜的断裂强度。

关键词： 晶体结构 金刚石膜 断裂强度 晶粒形貌

作者: 郭世斌 王耀华 牛得草 吕反修 唐伟忠 佟玉梅

作者单位: 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006北京国际材料周暨中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 315-318

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）