SnOx纳米薄膜的制备

摘要：

本文对SnOx纳米薄膜的制备进行了研究。文章利用射频磁控溅射的方法在不同条件下制备了锡氧化物薄膜，探讨了各种制备条件对薄膜表面成分和微观形貌的影响。

关键词： 锂离子电池 阳极材料 纳米薄膜

作者: 宋杰 董全峰 吴启辉 郑明森 詹亚丁 林祖赓

作者单位: 固体表面物理化学国家重点实验室,厦门大学化学化工学院化学系 厦门大学物理系,厦门,361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二十七届全国化学与物理电源学术年会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 155-156

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）