集成电路工厂的运行与维护
(0) 近年来,在我国集成电路工厂的数量迅猛增加,建设一座集成电路工厂需要花费数亿美元,由于其生产的复杂性和连续性的特点,需要有具多的动力供应系统连续稳定运行才能满足生产要求,动力系统对工厂来说就象一个人的血液循环系统一样,不允许出现任何故障.如何运行维护好这些系统,应该关注的重点在哪里,本文希望通过对各系统概要介绍的基础上,提出一些运行管理的要点,希望能为工厂的运行维护管理人员提供借鉴和参考。
集成电路工厂 运行维护 管理要点 动力供应
万铜良
中电四公司
国内会议
上海
中文
52-58
2004-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）