洁净室空气过滤器系统检漏的进展
(0) 当前洁净室空气过滤器系统安装后的检漏,可采用光度计或离散粒子计数器(DPC)进行扫描检漏或分单元每单元集中一点检漏,然而后者非扫描法检漏的灵敏度比扫描法低得多,限用于安装于管道内或空调器内不便于扫描检漏且过滤器穿透率(MPPS)大于0.005％的系统,亦可用于非单流方式的装置的末端过滤器.因此扫描检漏是主要的.而DPC扫描检漏比光度计扫描检漏,有以下优点:灵敏度高,速度快,准确度好,所需气溶胶浓度低仅为光度计的1/100～1/1000,被检过滤器受其污染的程度低(而光度计检漏所需气溶胶浓度,一般需在20mg/m3～80mg/m3,过低影响其灵敏度,再高则对被测过滤器污染更大).本文介绍 洁净室空气过滤器系统检漏的进展，主要介绍 DPC扫描检漏法的进展。
洁净室 空气过滤器 系统扫描检漏 系统安装 光度计 离散粒子计数器 气溶胶浓度
严德隆
国内会议
上海
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37-41
2004-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）