浅谈用于微电子制程中化学过滤器

摘要：

本文对用于微电子制程中化学过滤器进行了探讨。文章围绕AMC的分类和常见危害、对付AMC方案和对策、选用化学过滤器要关注的因素和指标、化学过滤器市场上的一些陷阱等进行了论述。

关键词： 芯片制造 洁净厂房 空气过滤

作者: 白晓清

作者单位: 康斐尔过滤设备(昆山)有限公司;康斐尔贸易(上海)有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国国际洁净技术论坛

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 93-98

在线出版日期: 2005-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）