SMIF隔离技术的洁净微环境——洁净技术的新发展

摘要：

本文对SMIF隔离技术的洁净微环境进行了研究。文章围绕SMIF/隔离技术原理及功用、SMIF的主要技术参数及关键技术、国内外SMIF系统发展现状及市场前景分析进行了论述。

关键词： 芯片制造 洁净厂房 隔离技术

作者: 周明孝

作者单位: 江苏苏净集团有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国国际洁净技术论坛

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 83-92

在线出版日期: 2005-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）