离子束溅射技术在激光薄膜中的应用

摘要：

目前许多应用需要能够承受高能量密度的光学薄膜,这些光学薄膜具有非常低的散射和吸收损耗,同时要求抗环境影响.离子束溅射(IBS)技术制备的光学薄膜具有这些特性.文中介绍了IBS技术原理和设备特性、IBS激光薄膜的光学和机械特性,以及评价激光薄膜的激光衰荡光腔高反射率测试技术、弱吸收测试激光量热计和激光损伤测试结果.

关键词： 离子束溅射 反应离子术辅助 激光薄膜 衰荡光腔 激光量热计

作者: 熊胜明

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年国际光学薄膜技术及其应用研讨会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 62-68

在线出版日期: 2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）