光学薄膜的损耗测试与分析

摘要：

本文给出了镀膜的工艺方法及工艺参数,对这种工艺条件下获得的样片进行了总损耗的测试,通过对损耗各分量进一步的测试和分析,对总损耗的构成和工艺改进进行了探讨.

关键词： 光学薄膜 损耗测试 高反膜 减反膜

作者: 季一勤 崔玉平 姜福灏 孙赤权 刘华松 宗杰 宋洪君 洪伟 殷浩

作者单位: 天津津航技术物理研究所,天津,300192 北京自动化控制设备研究所,北京,100074 海装天津局驻天津兵器设备军代表室,天津,300192

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年国际光学薄膜技术及其应用研讨会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 28-33

在线出版日期: 2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）