PLD法制备PZT-YBCO结构的铁电薄膜的研究

摘要：

本文利用脉冲准分子激光在LaAlO3单晶基片上淀积了YBCO和Zr/Ti为94/6的PZT铁电薄膜,并通过高频溅射将Pt蒸镀在PZT薄膜上作为上电极;用X射线衍射表征了该多层膜的晶相结构,测量了PZT的铁电性能和介电特性,讨论了PZT/YBCO薄膜的制备工艺,以及工艺条件对晶相结构和薄膜性能的影响.

关键词： 激光脉冲淀积 铁电薄膜 X射线衍射

作者: 吴平 彭润玲 符欣

作者单位: 南京航空航天大学理学院,210016 上海理工大学光电学院,200093

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）