脉冲激光沉积制备YBa2Cu3O7-δ/Nb-doped SrTiO3双层结
超导体/半导体结(Superconductor/semiconductor p-n junction)在制备场效应管,晶体管方面具有巨大的潜力.本文通过脉冲激光沉积的方法,使用Nb掺杂的(100)方向SrTiO3作为薄膜衬底,沉积了厚度约为350nm C轴取向的YBa2Cu3O7-δ薄膜,从而得到YBa2Cu3O7-δ/Nb:SrTiO3双层结.R-T曲线,以及XRD曲线显示YBa2Cu3O7-δ薄膜具有良好的超导电性和晶体结构,在零磁场不同温度下测量得电流-电压曲线显示YBa2Cu3O7-δ/Nb:SrTiO3构成的超导体/半导体双层结在小于YBa2Cu3O7-δ临界转变温度Tc时具有p-n结整流特性,当大于YBa2Cu3O7-δ超导转变温度时,呈现出非典型肖特基结的特性.
脉冲激光沉积 超导体 半导体结 能带结构 薄膜
刘震 朱亚彬 周岳亮 戴守愚 王淑芳
中国科学院物理研究所光物理实验室,北京,100080
国内会议
长春
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2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）