铁电压控谐振器的研究

摘要：

研究了单端加载铁电叉指电容的微带半波长谐振器的压控特性.铁电材料为LaAlO3衬底上脉冲激光淀积的SrTiO3,叉指电容电极为金.测量了谐振器77K下的压控谐振性能.谐振频率在6GHz左右,70V偏压下的压控频率范围大于180MHz.在10～40V内,谐振频率与偏置电压之间呈良好的线性关系,谐振器的有载Q值为60～90。

关键词： 铁电材料 压控器件 微波谐振器

作者: 曹春海 徐筱乐 何世明 周建明 刘兴钊 王烨 李言容 李拂晓

作者单位: 南京电子器件研究所,南京,210016 中国电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 长春

会议语种:中文

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）