有孔微梁谐振器中的压膜阻尼

摘要：

微梁谐振器是microelectromechanical systems(MEMS)中较为常用一种谐振器.微梁在振动的过程中,梁和基底间的气体由于粘性作用产生的压膜阻尼会显著影响系统的动态响应特性,因此可采用在结构上打孔来减小压膜阻尼.本文基于修正雷诺方程和梁的振动理论,给出了两端固支有孔微梁的控制方程.通过求解控制方程,得到了压膜阻尼对梁振动特性的影响,可以为器件的设计提供参考.

关键词： 压膜阻尼 微梁谐振器 谐振频率 品质因子

作者: 冯闯 赵亚溥 刘冬青

作者单位: 中国科学院力学研究所LNM,北京,100080;北京科技大学数学力学系,北京,100083 中国科学院力学研究所LNM,北京,100080 北京科技大学数学力学系,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国振动工程及应用学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 614-616

在线出版日期: 2006-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）