超声引线键合系统键合工具动态特性研究

摘要：

本文研究了微电子封装超声引线键合系统键合工具的动态特性.运用有限单元法建立了键合工具的动态接触模型,研究了键合工具的幅值响应和接触摩擦特性.通过对键合工具施加不同的加载频率和静压力进行计算,分析了键合过程中加载频率和静压力的变化对键合工具幅值响应和接触摩擦应力的影响,得出加载频率和静压力的变化对键合工具动态响应的变化曲线.本文的研究为掌握超声引线键合机理和键合过程故障诊断技术研究提供参考.

关键词： 超声引线键合 接触分析 有限元 键合工具

作者: 冯武卫 范虹 孟庆丰

作者单位: 西安交通大学轴承研究所,西安,710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国振动工程及应用学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 488-490

在线出版日期: 2006-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）