电磁屏蔽膜设备的开发及应用研究

摘要：

本文介绍了国内外对电磁屏蔽膜(EMI)研究的现状,比较了制备EMI膜的各种方法,指出采用磁控溅射法制备的EMI膜质量较好,并给出制备EMI膜的工艺流程。

关键词： 电磁屏蔽薄膜 电磁屏蔽 磁控溅射 工艺流程

作者: 朱建明 戴晋福

作者单位: 肇庆市科润真空设备有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 广东省真空学会第八届学术交流会

会议地点: 广州

会议语种:中文

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）