新型高真空电离规

摘要：

该文介绍了一种由鞍场规发展而来的新型高真空电离规，它具有电极尺寸小、吸放气率低等特点，适用于静态和动态系统的压强测量。文章给出了它的典型结构尺寸和电参数，计算了规管内的场分布，用Ｍｏｎｔｅ－ｃａｒｌｏ模拟方法计算了规管的电子轨迹和灵敏度；对新型电离规的样管进行了测试，并对规管的性能进行了讨论；最后得出了新型电离规零散小、功耗低、线性较好、测量范围宽的结论。

关键词： 电离规 真空测量 Monte-Carlo模拟方法

作者: 庞学玺 陶新昕 成胜涛

作者单位: 大学电子工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 768～772

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）